Polisilikon is 'n belangrike sputterende teikenmateriaal.Die gebruik van magnetron sputtermetode om SiO2 en ander dun films voor te berei, kan die matriksmateriaal beter optiese, diëlektriese en korrosieweerstand hê, wat wyd gebruik word in aanraakskerm, optiese en ander nywerhede.
Die proses om lang kristalle te giet is om die rigtinggewende stolling van vloeibare silikon van onder na bo geleidelik te realiseer deur die temperatuur van die verwarmer in die warm veld van die ingotoond en die hitteafvoer van die termiese isolasiemateriaal akkuraat te beheer, en die stolling lang kristalle spoed is 0,8 ~ 1,2 cm / h.Terselfdertyd, in die proses van rigtinggewende stolling, kan die segregasie-effek van metaalelemente in silikonmateriale verwesenlik word, die meeste van die metaalelemente kan gesuiwer word, en 'n eenvormige polikristallyne silikonkorrelstruktuur kan gevorm word.
Gietpolisilikon moet ook doelbewus in die produksieproses gedoteer word om die konsentrasie van aanvaarder-onsuiwerhede in die silikonsmelt te verander.Die hoofdoteermiddel van p-tipe gegote polisilikon in die bedryf is silikonboormeesterlegering, waarin die boorinhoud ongeveer 0,025% is.Die hoeveelheid doping word bepaal deur die teikenweerstand van die silikonwafel.Die optimale weerstand is 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, en die ooreenstemmende boorkonsentrasie is ongeveer 2 × 1014cm-3。 Die segregasiekoëffisiënt van boor in silikon is egter 0.8, wat 'n sekere segregasie-effek in die rigtinggewende stollingsproses sal toon, dat Dit is dat die boorelement in 'n gradiënt in die vertikale rigting van die ingot versprei word, en die weerstand verminder geleidelik van die onderkant na die bokant van die ingot.
Pos tyd: Jul-26-2022