1、 Sputtervoorbereiding
Dit is baie belangrik om die vakuumkamer, veral die sputterstelsel skoon te hou.Enige oorblyfsel wat deur smeerolie, stof en vorige laag gevorm word, sal waterdamp en ander besoedelingstowwe versamel, wat die vakuumgraad direk sal beïnvloed en die moontlikheid van filmvormende mislukking sal verhoog.Kortsluiting of teikenboogvorming, growwe filmoppervlak en oormatige chemiese onsuiwerheidsinhoud word dikwels veroorsaak deur onrein sputterkamer, sputtergeweer en teiken.Om by die samestellingseienskappe van die deklaag te hou, is dit nodig om die sputtergas (argon of suurstof) skoon te maak en te droog.Nadat die substraat in die sputterkamer geïnstalleer is, moet die lug onttrek word om die vakuum te bereik wat deur die proses vereis word.Die afskermbedekking in die donker area, spoumuur en aangrensende oppervlak moet ook skoon gehou word.Wanneer die vakuumkamer skoongemaak word, bepleit ons die gebruik van glasballetjies om die stowwerige dele te behandel, tesame met saamgeperste lug om die vroeë sputterreste rondom die kamer te verwyder, en dan die uitwendige oppervlak rustig te poets met alumina-geïmpregneerde skuurpapier.Nadat die gaaspapier gepoleer is, word dit skoongemaak met alkohol, asetoon en gedeïoniseerde water.Saam bepleit dit die gebruik van industriële stofsuier vir hulpskoonmaak.Die teikens wat deur Gaozhan metaal vervaardig word, word in vakuum verseëlde plastieksakke verpak,
Ingeboude vogbestande middel.Wanneer jy die teiken gebruik, moet asseblief nie die teiken direk met jou hand raak nie.Let wel: wanneer die teiken gebruik word, dra asseblief skoon en pluisvrye onderhoudshandskoene.Moet nooit die teiken direk met jou hande raak nie
2、 Doel skoonmaak
Die doel van teikenskoonmaak is om die stof of vuiligheid wat op die oppervlak van die teiken kan voorkom, te verwyder.
Die metaalteiken kan in vier stappe skoongemaak word,
Die eerste stap is om skoon te maak met 'n pluisvrye sagte lap wat in asetoon geweek is;
Die tweede stap is soortgelyk aan die eerste stap, skoonmaak met alkohol;
Stap 3: maak skoon met gedeïoniseerde water.Nadat u dit met gedeïoniseerde water gewas het, plaas die teiken in die oond en droog dit vir 30 minute by 100 ℃.
Die skoonmaak van oksied- en keramiekteikens moet met "pluisvrye lap" uitgevoer word.
Die vierde stap is om die teiken met argon met hoë druk en lae watergas te was nadat die stowwerige area verwyder is, om alle onsuiwerheiddeeltjies wat boog in die sputterstelsel kan vorm te verwyder
3、 Teiken toestel
In die proses van teikeninstallasie is Z belangrike voorsorgmaatreëls om 'n goeie termiese geleidingsverbinding tussen die teiken en die verkoelingswand van die sputtergeweer te verseker.As die vervorming van die verkoelingstok ernstig is of die vervorming van die agterplaat ernstig is, sal die teikentoestel kraak of buig, en die termiese geleidingsvermoë van die agterste teiken na die teiken sal grootliks beïnvloed word, wat lei tot die mislukking van hitte-afvoer in die sputterproses, en die teiken sal kraak of mis
Om die termiese geleidingsvermoë te verseker, kan 'n laag grafietpapier tussen die katode-verkoelingsmuur en die teiken gevul word.Let asseblief daarop om die platheid van die verkoelingswand van die sputterpistool wat gebruik word noukeurig na te gaan en duidelik te maak om te verseker dat die O-ring altyd in plek is.
Aangesien die netheid van die verkoelingswater wat gebruik word en die stof wat tydens die werking van die toerusting mag voorkom in die katode-verkoelingswatertenk neergelê sal word, is dit nodig om die katode-verkoelingswatertenk na te gaan en skoon te maak wanneer die teiken geïnstalleer word om die gladde sirkulasie van koelwater en dat die inlaat en uitlaat nie geblokkeer sal word nie.
Sommige katodes word beplan om 'n klein spasie met die anode te hê, dus wanneer die teiken geïnstalleer word, is dit nodig om te verseker dat daar geen aanraking of geleier tussen die katode en die anode is nie, anders sal 'n kortsluiting plaasvind.
Verwys na die toerusting operateur se handleiding vir inligting oor hoe om die teiken korrek te gebruik.As daar nie sulke inligting in die gebruikershandleiding is nie, probeer asseblief om die toestel te installeer volgens die relevante voorstelle wat deur Gaozhan metal verskaf word.Wanneer jy die teiken bevestiging vasdraai, draai eers een bout met die hand en dan nog 'n bout op die diagonaal met die hand.Herhaal dit totdat al die boute op die toestel vasgedraai is, en draai dan met iets vas.
4、 Kortsluiting en digtheid inspeksie
Na die voltooiing van die teikentoestel, is dit nodig om die kortsluiting en digtheid van die hele katode na te gaan,
Daar word voorgestel om te bepaal of daar 'n kortsluiting in die katode is deur 'n weerstandsmeter te gebruik
Ry diskriminasie.Nadat bevestig is dat daar geen kortsluiting in die katode is nie, kan lekopsporing uitgevoer word, en water kan in die katode ingebring word om te bevestig of daar waterlekkasie is.
5、 Doel voor sputtering
Target pre sputtering bepleit suiwer argon sputtering, wat die oppervlak van die teiken kan skoonmaak.Wanneer die teiken vooraf gesputter word, word aanbeveel om die sputterkrag stadig te verhoog, en die kragtoenametempo van keramiekteiken is 1.5WH / cm2.Die voorsputterspoed van metaalteiken kan hoër wees as dié van keramiekteikenblok, en 'n redelike kragtoenamekoers is 1.5WH / cm2.
In die proses van vooraf sputtering, moet ons die boog van die teiken nagaan.Die voorsputtertyd is gewoonlik ongeveer 10 minute.As daar geen boogverskynsel is nie, verhoog die sputterkrag voortdurend
Aan die vasgestelde krag.Volgens ondervinding is die aanvaarbare Z hoë sputterkrag van metaalteiken
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 vir keramiekteiken.Verwys asseblief na die instellingsbasis en ervaring van vakuumkamerdruk tydens sputtering in die gebruiker se stelsel se gebruikshandleiding.Oor die algemeen moet verseker word dat die watertemperatuur by die uitlaat van verkoelingswater laer as 35 ℃ moet wees, maar Z is dit belangrik om te verseker dat die sirkulasiestelsel van koelwater effektief kan werk
Die vinnige sirkulasie van superverkoelingswater neem hitte weg, wat 'n belangrike waarborg is om deurlopende sputtering met hoë krag te verseker.Vir metaalteikens word dit oor die algemeen bepleit dat die koelwatervloei is
20lpm waterdruk is ongeveer 5gmp;Vir keramiekteikens word dit algemeen aanbeveel dat die watervloei 30 lpm is en die waterdruk ongeveer 9gmp is.
6、 Doelonderhoud
Om kortsluiting en boogvorming wat veroorsaak word deur onrein holte in die sputterproses te voorkom, is dit nodig om die sputter wat in die middel en beide kante van die sputterbaan opgehoop is in fases te verwyder,
Dit help gebruikers ook om voortdurend teen z hoë kragdigtheid te spat
7、 Teikenberging
Die teikens wat deur Gaozhan-metaal verskaf word, word in dubbellaag-vakuum-plastieksakke verpak.Ons bepleit dat gebruikers die teikens, hetsy metaal of keramiek, in vakuumverpakking hou.Die bindingsteikens moet veral onder vakuumtoestande gestoor word om te verhoed dat die oksidasie van die bindingslaag die bindingskwaliteit beïnvloed.Wat die verpakking van metaalteikens betref, bepleit ons dat Z in skoon plastieksakke verpak moet word
Postyd: 13 Mei 2022