Gesputterde teikenmateriaal het hoë vereistes tydens gebruik, nie net vir suiwerheid en deeltjiegrootte nie, maar ook vir eenvormige deeltjiegrootte.Hierdie hoë vereistes laat ons meer aandag gee wanneer sputterende teikenmateriaal gebruik word.
1. Sputtervoorbereiding
Dit is baie belangrik om die skoonheid van die vakuumkamer te handhaaf, veral die sputterstelsel.Smeermiddels, stof en enige oorblyfsels van vorige bedekkings kan besoedelingstowwe soos water ophoop, wat die vakuum direk beïnvloed en die waarskynlikheid van filmvormingsmislukking verhoog.Kortsluitings, teikenboogvorming, growwe filmvormende oppervlaktes en oormatige chemiese onsuiwerhede word gewoonlik deur onrein sputterkamers, gewere en teikens veroorsaak.
Om die samestellingseienskappe van die deklaag te behou, moet die sputtergas (argon of suurstof) skoon en droog wees.Nadat die substraat in die sputterkamer geïnstalleer is, moet lug onttrek word om die vereiste vakuumvlak vir die proses te bereik.
2. Teiken skoonmaak
Die doel van teikenskoonmaak is om enige stof of vuiligheid wat op die oppervlak van die teiken mag voorkom, te verwyder.
3. Teiken installasie
Die belangrikste ding om aandag aan te gee tydens die installeringsproses van die teikenmateriaal is om 'n goeie termiese verbinding tussen die teikenmateriaal en die verkoelingswand van die sputtergeweer te verseker.As die verkoelingsmuur of agterplaat erg skeefgetrek is, kan dit krake of buiging veroorsaak tydens die installering van die teikenmateriaal.Die hitte-oordrag van die agterste teiken na die teikenmateriaal sal grootliks beïnvloed word, wat lei tot die onvermoë om hitte tydens sputtering te verdryf, wat uiteindelik lei tot krake of afwyking van die teikenmateriaal.
4. Kortsluiting en seëlinspeksie
Na die installering van die teikenmateriaal is dit nodig om die kortsluiting en verseëling van die hele katode na te gaan.Dit word aanbeveel om 'n ohmmeter en 'n megohmmeter te gebruik om te bepaal of die katode kortgesluit is.Nadat bevestig is dat die katode nie kortgesluit is nie, kan 'n lekopsporing uitgevoer word deur water in die katode in te spuit om te bepaal of daar enige lekkasie is.
5. Teikenmateriaal voor sputtering
Dit word aanbeveel om suiwer argongas te gebruik om die teikenmateriaal vooraf te sputter, wat die oppervlak van die teikenmateriaal kan skoonmaak.Dit word aanbeveel om die sputterkrag stadig te verhoog tydens die voorsputterproses vir die teikenmateriaal.Die krag van die keramiek teiken materiaal
Postyd: 19 Oktober 2023