Die teikenmateriaal wat in die databergingsbedryf gebruik word, vereis hoë suiwerheid, en onsuiwerhede en porieë moet tot die minimum beperk word om die generering van onreinheiddeeltjies tydens sputtering te vermy.Die teikenmateriaal wat vir produkte van hoë gehalte gebruik word, vereis dat die kristaldeeltjiegrootte klein en eenvormig moet wees en geen kristaloriëntasie het nie.Kom ons kyk hieronder na die vereistes van die optiese bergingsbedryf vir die teikenmateriaal?
1. Reinheid
In praktiese toepassings verskil die suiwerheid van teikenmateriale volgens verskillende industrieë en vereistes.In die algemeen, hoe hoër die suiwerheid van die teikenmateriaal, hoe beter is die werkverrigting van die gesputterde film.Byvoorbeeld, in die optiese bergingsbedryf moet die suiwerheid van die teikenmateriaal groter as 3N5 of 4N wees
2. Onreinheid inhoud
Die teikenmateriaal dien as die katodebron in sputtering, en onsuiwerhede in die vaste stof en suurstof en waterdamp in die porieë is die hoofbesoedelingsbronne vir die afsetting van dun films.Daarbenewens is daar spesiale vereistes vir teikens van verskillende gebruike.Neem die optiese bergingsbedryf as 'n voorbeeld, die onsuiwerheidsinhoud in sputterteikens moet baie laag beheer word om die kwaliteit van die deklaag te verseker.
3. Korrelgrootte en grootteverspreiding
Gewoonlik het die teikenmateriaal 'n polikristallyne struktuur, met korrelgroottes wat wissel van mikrometer tot millimeter.Vir teikens met dieselfde samestelling is die sputtertempo van fynkorrelteikens vinniger as dié van growwekorrelteikens.Vir teikens met kleiner korrelgrootte verskille, sal die neergelegde filmdikte ook meer eenvormig wees.
4. Kompaktheid
Ten einde porositeit in die soliede teikenmateriaal te verminder en filmprestasie te verbeter, word dit oor die algemeen vereis dat die sputterteikenmateriaal 'n hoë digtheid het.Die digtheid van die teikenmateriaal hang hoofsaaklik af van die voorbereidingsproses.Die teikenmateriaal wat deur smelt- en gietmetode vervaardig word, kan verseker dat daar geen porieë binne die teikenmateriaal is nie en die digtheid is baie hoog.
Postyd: 18 Jul-2023