Baie vriende oor die instandhouding van die teiken is daar min of meer vrae, onlangs is daar ook baie kliënte wat konsulteer oor die instandhouding van die teiken verwante probleme, laat redakteur van RSM vir ons om te deel oor sputtering teiken instandhouding kennis.
Hoe moet sputterteikens in stand gehou word?
1、 Doel instandhouding
Om kortsluiting en boogvorming wat veroorsaak word deur onrein holte in die sputterproses te vermy, is dit nodig om die sputters wat in die middel en beide kante van die sputterbaan opgehoop is periodiek te verwyder, wat gebruikers ook help om voortdurend teen hoë drywingsdigtheid te sputter.
2、 Teikenberging
Ons beveel aan dat gebruikers die teiken (hetsy metaal of keramiek) in vakuumverpakking bêre, veral die pasteiken moet in vakuum gestoor word om te verhoed dat die oksidasie van die paslaag die paskwaliteit beïnvloed.Wat die verpakking van metaalteikens betref, stel ons voor dat dit ten minste in skoon plastieksakke verpak moet word.
3、 Doel skoonmaak
Die eerste stap is om skoon te maak met 'n pluisvrye sagte lap wat in asetoon geweek is;
Die tweede stap is soortgelyk aan die eerste stap, skoonmaak met alkohol;
Stap 3: maak skoon met gedeïoniseerde water.Nadat dit met gedeïoniseerde water skoongemaak is, word die teiken in die oond geplaas en vir 30 minute by 100 ℃ gedroog.Dit word voorgestel om "pluisvrye lap" te gebruik om oksied- en keramiekteikens skoon te maak.
Die vierde stap is om die teiken met argon te was met hoë druk en lae humiditeit om enige onsuiwer deeltjies te verwyder wat boog in die sputterstelsel kan veroorsaak.
4、 Kortsluiting en styfheidkontrole
Nadat die teiken geïnstalleer is, moet die hele katode nagegaan word vir kortsluiting en digtheid.Dit word aanbeveel om te bepaal of daar 'n kortsluiting in die katode is deur 'n weerstandsmeter en 'n megger te gebruik.Nadat bevestig is dat daar geen kortsluiting in die katode is nie, kan waterlekkasie-inspeksie uitgevoer word, en water kan in die katode ingebring word om vas te stel of daar waterlekkasie is.
5、 Verpakking en vervoer
Alle teikens word in vakuum verseëlde plastieksakke met vogbestande middel verpak.Die buitenste pakket is gewoonlik 'n houtkas met 'n anti-botsingslaag om die teiken en agtervlak te beskerm teen skade tydens vervoer en berging.
Postyd: 15 Julie 2022