Sputterde molibdeen-teikens is wyd gebruik in die elektroniese industrie, sonselle, glasbedekking en ander velde as gevolg van hul inherente voordele.Met die vinnige ontwikkeling van moderne tegnologie in miniaturisering, integrasie, digitalisering en intelligensie, sal die gebruik van molibdeen-teikens aanhou toeneem, en die kwaliteitvereistes daarvoor sal ook al hoe hoër word.Ons moet dus maniere vind om die benuttingskoers van molibdeen-teikens te verbeter.Nou sal die redakteur van RSM verskeie metodes bekendstel om die benuttingskoers van sputterende molibdeen-teikens vir almal te verbeter
1. Voeg elektromagnetiese spoel aan die keersy by
Ten einde die benuttingstempo van die gesputterde molibdeen teiken te verbeter, kan 'n elektromagnetiese spoel aan die agterkant van die planêre Magnetron sputterende molibdeen teiken bygevoeg word, en die magnetiese veld op die oppervlak van die molibdeen teiken kan verhoog word deur die stroom van die elektromagnetiese spoel, om die benuttingskoers van die molibdeen-teiken te verbeter.
2. Kies buisvormige roterende teikenmateriaal
In vergelyking met plat teikens, beklemtoon die keuse van 'n buisvormige roterende teikenstruktuur die wesenlike voordele daarvan.Oor die algemeen is die benuttingskoers van plat teikens slegs 30% tot 50%, terwyl die benuttingskoers van buisroterende teikens meer as 80% kan bereik.Verder, wanneer die roterende holbuis Magnetron sputter-teiken gebruik word, aangesien die teiken heeltyd om die vaste staafmagneetsamestelling kan draai, sal daar geen herafsetting op sy oppervlak wees nie, dus is die lewe van die roterende teiken oor die algemeen meer as 5 keer langer as dié van die vliegtuigteiken.
3. Vervang met nuwe sputtertoerusting
Die sleutel tot die verbetering van die benuttingskoers van teikenmateriaal is om die vervanging van sputtertoerusting te voltooi.Tydens die sputterproses van molibdeen-sputterende teikenmateriaal sal ongeveer een sesde van die sputter-atome op die vakuumkamerwand of -beugel neerslaan nadat dit deur waterstofione getref is, wat die koste van die skoonmaak van die vakuumtoerusting en stilstand verhoog.Die vervanging van nuwe sputtertoerusting kan dus ook help om die benuttingstempo van sputterende molibdeen-teikens te verbeter.
Postyd: 24 Mei 2023