In onlangse jare, met die vordering van geïntegreerde stroombaan (IC) tegnologie, is die verwante toepassings van geïntegreerde stroombane vinnig ontwikkel.Ultra-hoë suiwer aluminium sputtering teiken, as 'n ondersteunende materiaal in die vervaardiging van geïntegreerde stroombaan metaal verbindings, het 'n warm onderwerp geword in onlangse plaaslike navorsing.die redakteur van RSM sal ons die kenmerke van 'n hoë suiwer aluminium sputtering teiken wys.
Ten einde die sputterdoeltreffendheid van magnetron-sputtering-teiken verder te verbeter en die kwaliteit van gedeponeerde films te verseker, toon 'n groot aantal eksperimente dat daar sekere vereistes is vir die samestelling, mikrostruktuur en korreloriëntasie van ultrahoë suiwerheid aluminiumlegering-sputtering teiken.
Die korrelgrootte en korreloriëntasie van die teiken het groot invloed op die voorbereiding en eienskappe van IC-films.Die resultate toon dat die neerslagtempo afneem met die toename in korrelgrootte;Vir die sputterteiken met dieselfde samestelling is die sputtertempo van die teiken met klein korrelgrootte vinniger as dié van die teiken met groot korrelgrootte;Hoe meer eenvormig die korrelgrootte van die teiken is, hoe meer eenvormig is die dikteverspreiding van die neergesette films.
Onder dieselfde sputterinstrument en proses parameters, verhoog die sputtertempo van Al Cu legering teiken met die toename in atoomdigtheid, maar dit is oor die algemeen stabiel in 'n reeks.Die effek van korrelgrootte op sputtertempo is te wyte aan die verandering van atoomdigtheid met die verandering van korrelgrootte;Die neerslagtempo word hoofsaaklik beïnvloed deur die korreloriëntasie van Al Cu-legeringsteiken.Op die basis van die versekering van die proporsie van (200) kristalvlakke, sal die toename in die proporsie van (111), (220) en (311) kristalvlakke die afsettingtempo verhoog.
Die korrelgrootte en korreloriëntasie van teikens van ultrahoë suiwer aluminiumlegering word hoofsaaklik aangepas en beheer deur ingothomogenisering, warmbewerking en herkristallisasie-gloeiing.Met die ontwikkeling van wafelgroottes tot 20,32 cm (8 duim) en 30,48 cm (12 duim), neem die teikengrootte ook toe, wat hoër vereistes stel vir ultrahoë suiwer aluminiumlegering-sputtering-teikens.Om die filmkwaliteit en opbrengs te verseker, moet die teikenverwerkingsparameters streng beheer word om die teikenmikrostruktuur eenvormig te maak en die korreloriëntasie moet sterk (200) en (220) vlakke teksture hê.
Pos tyd: Jun-30-2022