Soos ons almal weet, is die ontwikkelingstendens van teikenmateriaaltegnologie nou verwant aan die ontwikkelingstendens van filmtegnologie in die stroomafwaartse toepassingsbedryf.Met die tegnologiese verbetering van filmprodukte of komponente in die toepassingsbedryf behoort die teikentegnologie ook te verander.Ic-vervaardigers het byvoorbeeld onlangs gefokus op die ontwikkeling van koperbedrading met lae weerstand, wat na verwagting die oorspronklike aluminiumfilm in die volgende paar jaar aansienlik sal vervang, dus sal die ontwikkeling van koperteikens en hul vereiste versperringsteikens dringend wees.
Daarbenewens het platpaneelvertoning (FPD) in onlangse jare die katodestraalbuis (CRT)-gebaseerde rekenaarskerm- en televisiemark grootliks vervang.Dit sal ook die tegniese en markvraag na ITO-teikens aansienlik verhoog.En dan is daar die bergingstegnologie.Die vraag na hoëdigtheid, grootkapasiteit hardeskywe en hoëdigtheid-uitwisbare skywe neem steeds toe.Al hierdie het gelei tot veranderinge in die vraag na teikenmateriaal in die toepassingsbedryf.In die volgende sal ons die hooftoepassingsvelde van teiken en die ontwikkelingstendens van teiken in hierdie velde bekendstel.
1. Mikro-elektronika
In alle toepassingsbedrywe het die halfgeleierbedryf die strengste gehaltevereistes vir teikenverstuivingsfilms.Silikonwafels van 12 duim (300 epistaxis) is nou vervaardig.Die breedte van die interkonneksie neem af.Die vereistes van silikonwafelvervaardigers vir teikenmateriale is grootskaalse, hoë suiwerheid, lae segregasie en fynkorrel, wat vereis dat die teikenmateriale beter mikrostruktuur moet hê.Die kristallyne deeltjie-deursnee en eenvormigheid van die teikenmateriaal is beskou as die sleutelfaktore wat die filmneerslagtempo beïnvloed.
In vergelyking met aluminium, het koper hoër elektromobiliteitsweerstand en laer weerstand, wat kan voldoen aan die vereistes van geleier tegnologie in die submikron bedrading onder 0.25um, maar dit bring ander probleme: lae adhesie sterkte tussen koper en organiese medium materiale.Boonop is dit maklik om te reageer, wat lei tot die korrosie van die koperverbinding en die stroombaanbreuk tydens die gebruik van die skyfie.Om hierdie probleem op te los, moet 'n sperlaag tussen die koper en die diëlektriese laag gestel word.
Die teikenmateriaal wat in die versperringslaag van koperverbindings gebruik word, sluit in Ta, W, TaSi, WSi, ens. Maar Ta en W is vuurvaste metale.Dit is relatief moeilik om te maak, en legerings soos molibdeen en chroom word as alternatiewe materiale bestudeer.
2. Vir die vertoning
Platpaneelvertoning (FPD) het die katodestraalbuis (CRT)-gebaseerde rekenaarmonitor- en televisiemark oor die jare grootliks beïnvloed, en sal ook die tegnologie en markvraag na ITO-teikenmateriaal aandryf.Daar is vandag twee tipes ITO-teikens.Die een is om nanometertoestand van indiumoksied en tinoksiedpoeier te gebruik na sintering, die ander is om indiumtinlegering teiken te gebruik.ITO film kan vervaardig word deur DC reaktiewe sputtering op indium-tin legering teiken, maar die teiken oppervlak sal oksideer en die sputter tempo beïnvloed, en dit is moeilik om 'n groot grootte legering teiken te kry.
Deesdae word die eerste metode oor die algemeen gebruik om ITO-teikenmateriaal te vervaardig, wat 'n sputterbedekking is deur magnetron-sputterreaksie.Dit het 'n vinnige neerslagtempo.Die filmdikte kan akkuraat beheer word, die geleidingsvermoë is hoog, die konsekwentheid van die film is goed en die adhesie van die substraat is sterk.Maar die teikenmateriaal is moeilik om te maak, want indiumoksied en tinoksied sinter nie maklik saam nie.Oor die algemeen word ZrO2, Bi2O3 en CeO as sinterbymiddels gekies, en die teikenmateriaal met 'n digtheid van 93%~98% van die teoretiese waarde kan verkry word.Die uitvoering van ITO-film wat op hierdie manier gevorm is, het 'n goeie verhouding met die bymiddels.
Die blokkeerweerstand van ITO-film wat verkry word deur sulke teikenmateriaal te gebruik, bereik 8.1×10n-cm, wat naby die weerstand van suiwer ITO-film is.Die grootte van FPD en geleidende glas is redelik groot, en die breedte van geleidende glas kan selfs 3133 mm bereik.Ten einde die benutting van teikenmateriaal te verbeter, word ITO-teikenmateriaal met verskillende vorms, soos silindriese vorm, ontwikkel.In 2000 het die Nasionale Ontwikkelingsbeplanningskommissie en die Ministerie van Wetenskap en Tegnologie ITO groot teikens ingesluit in die Riglyne vir Sleutelgebiede van Inligtingsbedryf wat tans vir Ontwikkeling geprioritiseer word.
3. Berging gebruik
Wat bergingstegnologie betref, vereis die ontwikkeling van hardeskywe met 'n hoë digtheid en groot kapasiteit 'n groot aantal reuse-teësinnige filmmateriaal.Die CoF~Cu meerlaag saamgestelde film is 'n wyd gebruikte struktuur van reuse teësinnigheid film.Die TbFeCo-legerings-teikenmateriaal wat vir magnetiese skyf benodig word, is nog in verdere ontwikkeling.Die magnetiese skyf wat met TbFeCo vervaardig word, het die kenmerke van groot bergingskapasiteit, lang dienslewe en herhaalde nie-kontak-uitwisbaarheid.
Antimoon germanium telluride-gebaseerde faseveranderingsgeheue (PCM) het beduidende kommersiële potensiaal getoon, word deel NOR-flitsgeheue en DRAM bemark 'n alternatiewe bergingstegnologie, maar in die implementering vinniger afgeskaal is een van die uitdagings op die pad om te bestaan, gebrek aan herstel die huidige produksie kan verder verlaag word heeltemal verseëlde eenheid.Die vermindering van die terugstelstroom verminder geheuekragverbruik, verleng batterylewe en verbeter databandwydte, alles belangrike kenmerke in vandag se datasentriese, hoogs draagbare verbruikerstoestelle.
Postyd: Aug-09-2022