Rich Special Material Co., Ltd. kan hoë-suiwer aluminium sputtering teikens, koper sputter teikens, tantaal sputter targets, titanium sputter targets, ens. vir die halfgeleier industrie produseer.
Halfgeleierskyfies het hoë tegniese vereistes en hoë pryse vir sputterteikens.Hul vereistes vir die suiwerheid en tegnologie van sputterende teikens is hoër as dié van platpaneelskerms, sonselle en ander toepassings.Halfgeleierskyfies stel uiters streng standaarde op die suiwerheid en interne mikrostruktuur van sputterteikens.As die onsuiwerheidsinhoud van die sputterteiken te hoog is, kan die film wat gevorm word nie aan die vereiste elektriese eienskappe voldoen nie.In die sputterproses is dit maklik om deeltjies op die wafer te vorm, wat lei tot kortsluiting of stroombaanskade, wat die werkverrigting van die film ernstig beïnvloed.Oor die algemeen word die sputter-teiken met die hoogste suiwerheid vereis vir die vervaardiging van skyfies, wat gewoonlik 99,9995% (5N5) of hoër is.
Sputtering teikens word gebruik vir die vervaardiging van versperring lae en verpakking metaal bedrading lae.In die wafer-vervaardigingsproses word die teiken hoofsaaklik gebruik om die geleidende laag, versperringslaag en metaalrooster van die wafer te maak.In die proses van skyfieverpakking word die sputterteiken gebruik om metaallae, bedradinglae en ander metaalmateriaal onder die bulte te genereer.Alhoewel die hoeveelheid teikenmateriaal wat in wafelvervaardiging en skyfieverpakking gebruik word klein is, beloop volgens SEMI-statistieke die koste van teikenmateriaal in wafelvervaardiging en -verpakkingsproses ongeveer 3%.Die kwaliteit van die sputterteiken beïnvloed egter direk die eenvormigheid en werkverrigting van die geleidende laag en versperringslaag, en beïnvloed sodoende die transmissiespoed en stabiliteit van die skyfie.Daarom is die sputterteiken een van die kerngrondstowwe vir halfgeleierproduksie
Postyd: 16 Nov 2022