Ten einde die film-gebaseerde piëzo-elektriese MEMS (pMEMS) sensor en radiofrekwensie (RF) filter komponente industrie te ondersteun, word die aluminium scandium legering wat deur Rich Special Material Co., Ltd. vervaardig word spesiaal gebruik vir die reaktiewe afsetting van skandium gedoteerde aluminium nitried films .
Dunfilm piëzo-elektriese materiale word toenemend in motor-, industriële en persoonlike elektroniese toerusting gebruik.Toepassings sluit in pmt-gebaseerde vingerafdruksensors en gebareherkenningstoestelle, MEMS-mikrofone, resonatorgebaseerde chemiese sensors en mediese sensors.Daarbenewens word skandium-gedopte aluminiumnitriedfilms toenemend nodig om RF-filters vir 5G-netwerktoepassings te realiseer.Terselfdertyd neem die hoeveelheid aluminium skandiumlegering toe.
Eienskappe van Al Sc Alloy
Hoogs konsekwente chemiese homogeniteit regdeur die legering
Hoogs konsekwente filmchemiese homogeniteit deur die hele leeftyd van die skyfie en legering
Suiwerheid>99,9%, lae suurstofinhoud, lae kritieke besoedelingsstofinhoud
Beheer die mikrostruktuur streng om die beste sputterprestasie te behaal
Vakuum gegote, volledig digte legering met lae adhesie, lae veranderlikheid en lae korreligheid
Rich Special Material Co., Ltd. ondersteun 'n verskeidenheid legeringssmelting, teikenaanpassing en R&D-dienste.
Postyd: Nov-11-2022